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使用真空度測試儀應該先(xiān)了解的知識有哪些?

使用真空度測試儀應(yīng)該(gāi)先了解(jiě)的知識有哪些?
基本工作原理
磁控放電法測試真空(kōng)度的基本原理如下:將真空泡兩觸頭拉開一定的開距,並置於通有大電流的螺線管內,在(zài)兩觸頭間施加高壓脈衝,從而在真空泡內產生高壓電場和軸向(xiàng)脈(mò)衝磁場。這樣(yàng),在(zài)脈衝強磁場和強電(diàn)場的作用下,真空泡中的電子作螺旋運動,並與殘餘氣體分子發生碰撞產生電離,生成的離(lí)子電(diàn)流與殘餘氣體密度即真空度近似成比例關係。
研製的測試儀可用(yòng)於測量泄漏電流、全電流和離子電流3個電流值。
(1)泄(xiè)漏電流。將真(zhēn)空泡動靜(jìng)觸頭拉開一定的間距,並加高(gāo)壓直流脈衝電壓,則會在(zài)兩觸頭間、觸頭和屏蔽罩間產生強(qiáng)電場。根據場致發射理(lǐ)論,陰極和屏蔽罩表麵會發射出電子,向陽極(jí)運動,形成電流,即(jí)泄漏(lòu)電流。由於電子的自由行程遠遠大(dà)於兩觸(chù)頭間距,電子幾乎不與真空泡內殘餘氣體分子發生(shēng)碰撞,所以泄漏(lòu)電流不(bú)能正確反應(yīng)真空(kōng)泡的真空(kōng)度。
(2)全電流。為了使泄漏電流的電子能夠與殘餘氣體分子(zǐ)發生碰撞,目前常用的方法是在軸向上加一較強的(de)磁場,使得場致發射的電子在電場和磁場的共(gòng)同作用下發生螺旋運動,這加(jiā)大了電子運動(dòng)的行程及與(yǔ)殘餘氣體分子發生碰撞的概率。當電子與殘餘氣體分子發生碰撞後會產生電離現象,並形成穩定的(de)自(zì)持放電,這時測(cè)量出的電流值為全(quán)電流值。
(3)離子電流。全電(diàn)流的(de)測量值包括了陰極(jí)和屏蔽罩發射的泄漏(lòu)電流,以及(jí)殘餘氣體被(bèi)碰撞後產生電離的離子電流。為了準確測量真(zhēn)空泡內的真空度,還得從(cóng)全電流中減掉泄漏電流值,得到的才是真正反(fǎn)映(yìng)真空泡真空度的離子電流(liú)值。真空泡使(shǐ)用壽命評(píng)定(dìng)原理:真空泡隨著正常使用時間的增長,內部真空度也呈線性增加。通過測定兩個間隔時間比較恰當時的真空度,就可確定其變化(huà)率,從而確定使用過任意時間後真空泡真空(kōng)度的大小。
1、將被測的真空管(guǎn)兩端(duān)斷電。被測的真空管(guǎn)不必從(cóng)開關櫃上拆卸,但必須使真空(kōng)管處於正常(cháng)的(de)斷開狀態,並打(dǎ)開真空開關進出線的(de)刀閘;若真空開關還沒有裝上,也需要采(cǎi)取措施使真空開(kāi)關動靜(jìng)觸(chù)頭處於正常開距狀態,並將其置於絕緣良好的支撐架上,同時要注意磁控線圈的安裝位置,應(yīng)安裝在滅弧室(shì)中間略偏動觸頭的位置。
2、將被測(cè)的真空管與儀器接線。具體的操作為:先將真空度測試儀接地端接(jiē)到大地上(shàng),再將磁控線圈通過磁場電流線連接儀器(qì)的磁場電壓(yā)正、負端,將高壓輸出端用高壓電纜連接到真空管的靜觸頭上,將離子電流輸入端通過離子電流線(xiàn)(屏蔽線)接(jiē)至真空(kōng)管的動觸頭上。3、測量結束後,關閉儀器電源,並等待5秒後方可拆線。拆線時(shí)應(yīng)先拆除與儀器相連的測試線,再拆除與真空管、磁控線圈(quān)的連線。
操作注意事項:
1.儀器外殼應(yīng)可靠接地;
2.為了提高測量準確度,測試前應將真空開關外表(biǎo)麵擦試幹(gàn)淨;
3.請正確選擇真空管的管型;
4.測試過程中,高壓輸(shū)出端會輸出約20KV高壓(yā),請保持其與人體及低(dī)壓線(xiàn)端的絕緣距離(建議與人體保持 0.5米(mǐ)以上距離),磁場電壓輸出端輸出約1600V高(gāo)壓,請注意**!
5.儀器進行(háng)試驗時,接線應先連接磁控線圈、真(zhēn)空管的連線,然後再與儀(yí)器相連。測(cè)試完成後拆線應先拆除與儀器(qì)相連的測(cè)試線,然後再拆除與磁控線圈、真(zhēn)空管的連線;如在(zài)使用時忘記連接磁控線圈而(ér)直接按測量鍵時(shí),應立即關閉電源(yuán),重新接好磁控線圈,請注意此時磁(cí)場電壓輸出端會有較高電壓,請接線時勿接(jiē)觸導(dǎo)體部分,以免被電(diàn)容上的殘(cán)餘電壓擊(jī)傷.
6.測量完畢後磁場輸出端仍可(kě)能有 40V左右的殘餘電壓,請注意**!
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