SF6氣體回收固化提純係統配備有多重的高（gāo）效（xiào）聚合過濾器、活性炭（tàn）過濾器、酸性物質過濾器和微粒過濾器，氣體被過濾處理（lǐ）至0.1微米（mǐ）水平以除去灰塵和微粒物質。專門設計的全功能氣體專用處理站可用於組合電器製造廠的（de）生（shēng）產車間。SF6氣體回收固化提純係統能把不合格SF6氣體對其進行淨化，冷凍固化處理達到國家新氣標準，將達標（biāo）的SF6氣體（tǐ）回充到絕（jué）緣（yuán）容器中。
回收（shōu）裝置結構緊湊、全功能，能夠完成一台大型SF6回收裝置所有功能 ，包括氣體的（de）過（guò）濾和幹燥、固化提純。
整個回（huí）收（shōu）裝置包括：真空泵、壓縮（suō）機（jī）、固化提純裝置、液氮（dàn）罐160L、氣體液化凝結器、各種過濾係統、淨化裝置（zhì）、存儲係統以及必備（bèi）的（de）閥門和PLC自動控製部件。
淨化後的SF6氣體應達到國家規定標（biāo）準。 見國標《GB/T12022-1989》
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SF6氣體回收固化提純係（xì）統指標名稱
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SF6氣體回收固化（huà）提純係統指標
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四氟化碳 （CF4）
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≤0.04%
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空 氣 （N2+O2）
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≤0.04%
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濕 度 （H2O）
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≤5μg/g
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酸 度 （以HF計）
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≤0.2μg/g
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可水解氟化物（以HF計）
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≤1.0μg/g
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礦物油
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≤3μg/g
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純 度 （SF6）
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≥99.8%(質量分數)
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生物毒性
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無毒（dú）
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SF6氣體回收固化（huà）提純係統功（gōng）能說明（míng）
從SF6設備中回收SF6氣體（tǐ），並測定（dìng）真空度。
將抽取（qǔ）氣體液化儲存v
SF6設備檢修完畢，抽走空（kōng）氣和水分
將儲存的SF6氣體循環幹燥淨化固化提純。（過（guò）濾氣（qì）體中的雜質、水份、CF4、HF、SF6分解物、礦物油、粉塵及絮狀顆粒）
將（jiāng）儲存的SF6汽（qì）化，再輸送到SF6設備
將氣體回收儲罐及管道、氣瓶（píng）加（jiā）熱，抽真空至30--100Pa
在氣瓶、儲罐及外部儲（chǔ）罐（guàn）之間輸送液態SF6
可對處理過程中的SF6氣體進行（háng）取樣檢測分析。
可再生大容量過濾器。
抽真空的排出物可經過堿洗吸收，無毒排放。吸附劑堿洗深埋。
自動程序（xù）保護控製 ，自動手動控製可（kě）選可視，操作簡單明了。
高（gāo）壓直接液化，無需外加（jiā）增壓器（qì）。
儲氣量300KG，可擴展外接氣瓶，氣罐。
氣瓶電（diàn）子稱重。
各種開關電氣（qì）設備專用接頭。