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真空度測試儀的研製原理及(jí)技術簡介

真空度(dù)測試儀(yí)的研製原理及技術簡介
基本工作原(yuán)理
磁(cí)控(kòng)放電法測試真空度的基本(běn)原理如下(xià):將真空泡兩觸頭拉開一定的開距,並置於通有大電流的螺線管內,在兩觸頭間施加高壓脈衝,從而在真空泡內產生高壓(yā)電場和軸向脈衝磁場(chǎng)。這(zhè)樣,在脈衝強磁場和強電場的作用下,真空泡中的電子作螺旋運動,並與殘餘(yú)氣體分子發(fā)生碰撞產生電離,生(shēng)成的離子電流與殘餘氣體密度即(jí)真空度近似成比例關係。
(1)泄漏電流。將真空泡(pào)動靜觸頭拉開一定的間距,並加高壓直流脈(mò)衝電壓,則會在兩(liǎng)觸頭間、觸頭和屏蔽罩間產生強電場(chǎng)。根據場致發射理論,陰極和屏蔽罩表(biǎo)麵會(huì)發射出電子,向陽極運動,形成電流,即泄漏電(diàn)流。由於電子的自由行程遠遠大於兩觸頭間距,電子幾乎不與真空(kōng)泡(pào)內殘餘氣體分子發生碰撞(zhuàng),所以泄漏電流不(bú)能正確反應真空(kōng)泡的真空度。
(2)全電流(liú)。為(wéi)了使泄漏(lòu)電流的電子能夠與殘餘氣體分子發生碰撞,目前常用的方法是在軸向上加一較強的磁場,使得場致發射(shè)的電子在電場和磁場的(de)共同作(zuò)用下發生螺旋運動,這加大了電(diàn)子運動的行程及與殘餘氣體分子發生碰撞的概率。當電子與殘餘氣體分子發生(shēng)碰撞後會產生電離現象,並(bìng)形(xíng)成(chéng)穩定的自持放電,這時測量出的電流(liú)值(zhí)為全電流值。
(3)離子電流。全電流的測量值包(bāo)括了陰極和屏蔽罩發射的泄漏電流,以及殘餘氣體被碰撞後產生電離的離子電(diàn)流。為了準確測量真空泡內的真空度,還得從(cóng)全(quán)電流中減(jiǎn)掉泄漏電流值,得到的才是(shì)真正反映真空泡真空度的離子電流(liú)值。真空(kōng)泡使(shǐ)用壽命評定原理:真(zhēn)空泡隨著正常使用時間的增長,內部真(zhēn)空度也呈線性增加。通(tōng)過(guò)測定兩個間隔時間比較恰當(dāng)時的真空度,就可確定其變化率,從而(ér)確定使用過任意時(shí)間後真空泡真空度的大小。
ZKY-2000真空度測試儀(免拆卸無磁控線圈)
產品描述:
實現了真空滅弧室的免拆卸測量,直接顯示真空度值,使真空斷路器用戶詳細掌握滅(miè)弧室的真空狀(zhuàng)態,為有計劃地更換滅弧室提供了可靠(kào)的依據,為電網的**運行提(tí)供了有力保障,克服了工頻耐(nài)壓法僅(jǐn)能判斷滅弧室是否報廢的缺陷。
技術參數:
1.真空度測量範圍: 9.999×10-1~1×10-5
2.離子電(diàn)流測量範(fàn)圍:9.999×10-1~1×10-7
3.測 量 誤 差: <5%
4.測 量 分 辨 率: 10-5pa
5.環 境 溫 度: -20℃~50℃
6.空 氣 濕 度: ≤80%RH
7.工 作(zuò) 電 源(yuán): AC 220V,50Hz±10%
8.外 型 尺 寸: 420×290×210(mm)
9.高 壓 輸 出: 脈衝≤4kV15kHz
⒑重          量: 8kg
 
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