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嘿嘿连载APP真空度測(cè)試儀的優越性(xìng)體(tǐ)現在哪些方麵?

嘿嘿连载APP真(zhēn)空度測試(shì)儀的優越性體現在哪些方麵?
基本工作原理:
磁控放電法測試真空度的(de)基本原理如下:將真空泡兩(liǎng)觸頭拉開(kāi)一(yī)定的開距,並置於通有大電流的螺線管內,在(zài)兩觸頭間施加高壓(yā)脈衝,從而在真空泡(pào)內產生高壓電場和軸向脈衝磁場。這樣,在脈衝強磁場和強電場的作(zuò)用下,真空泡中的電子作螺旋運動,並(bìng)與殘餘氣體分(fèn)子發生碰撞產生電離,生成的離子電流(liú)與殘餘氣體密度(dù)即真空度近似成(chéng)比例關係。
(1)泄漏電流。將真空泡(pào)動靜(jìng)觸頭拉開一(yī)定的間距,並加高壓直流脈衝電壓,則會在兩觸頭間、觸(chù)頭和屏蔽罩間產生(shēng)強電(diàn)場。根據場(chǎng)致發射理論,陰極和屏(píng)蔽罩表麵會發射出電子,向陽極運動,形成電流,即泄漏電流。由於電(diàn)子的自(zì)由行程遠遠大於兩觸頭間距,電子幾乎不與真空泡內殘餘氣體分子(zǐ)發生碰撞(zhuàng),所以泄漏電(diàn)流不(bú)能正確反應真空(kōng)泡的(de)真空(kōng)度。
(2)全電流。為了使(shǐ)泄漏電流(liú)的電子(zǐ)能夠與(yǔ)殘餘氣體分子發生碰撞(zhuàng),目前常用的方法是在軸(zhóu)向上加(jiā)一較強的磁場,使得場致發射的電子在電場(chǎng)和磁場的共同作用下發生螺旋運動,這加大了電(diàn)子運動的行程及與殘餘氣體(tǐ)分子發生碰撞的概率。當電(diàn)子與殘餘氣體分子發生碰撞後會產生電離現象,並(bìng)形成穩定的自持放電,這時測量出的電流值為全電流值。
(3)離子電流。全電(diàn)流的測量(liàng)值包括了陰極和屏蔽罩(zhào)發射的泄漏電流(liú),以及殘餘氣體被碰撞後產生電離的離子電流。為了準確測量真空(kōng)泡內的真空(kōng)度,還得從全電流中減掉泄漏電流值,得到的才是真正反映真空泡(pào)真(zhēn)空度的(de)離子電(diàn)流值(zhí)。真空泡使用壽命評定原理:真空泡隨著正常使用時間的增長,內(nèi)部真空度也(yě)呈線性增加。通過測定兩個間隔時(shí)間比較恰當時(shí)的真空(kōng)度,就可(kě)確(què)定其變化(huà)率,從而確定使用(yòng)過任意時間後真空泡真空度的大小。
 
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