對嘿嘿连载APP電氣真空度測試儀采用磁控放電法的深度剖析

基於電離電荷（hé）的采樣技術，真空（kōng）度測量儀均采用基於電離電荷的采樣技術。我嘿嘿连载APP電氣公司（sī）專（zhuān）家在磁放（fàng）電的研究中發現（xiàn），在外激勵電源、真空滅弧室的（de）幾何尺寸、所用材料（liào）一定時，真空滅弧室裏的真空度與電離的電（diàn）荷量有非常準確的對應關係，而與電離電流（liú）的峰值僅有概率上的相關性。因此，我公司（sī）首（shǒu）刨了基於電離電荷的采樣技術，顯著提高了真（zhēn）空滅弧室的真空度計量的準確性（xìng）。

漏電電流的（de）處理，對處於分（fèn）斷狀態的真空滅弧室兩端（duān）加高壓時，會有數值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電（diàn）流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差（chà）異。尤其是對（duì）於裝在整機上的真空滅弧室，由於其周邊的絕緣支撐件也有（yǒu）漏（lòu）電，這此漏電的總和有（yǒu）更大的不穩定性（xìng）和不可預測性，並且在數值上與（yǔ）10E- 4Pa 數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我（wǒ）們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電（diàn）電流，保（bǎo）證了無論是裝於整機上還（hái）是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。

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